無塵室內(nèi)該如何防止微粒子污染呢？應遵守下列四項基本原則：

1.不攜入在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有：

1）作業(yè)員進入無塵室前，機臺、零件攜入前應進行清潔處理；

2）進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。   

3）通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入無塵室。

4）機器及材料帶進無塵室前，應盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風淋室吹淋后才進入無塵室。

5）無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。 　　

2.不發(fā)生 在控制污染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到小限度應采取以下對策：

1）減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)；

2）采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；

3）采用發(fā)塵小的潤滑油；

4）機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。 　　

3.不儲備 若能徹底實施“不攜入”技術(shù)，無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在廣大的無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術(shù)快速地在過濾器中應用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。 無塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度，使用高性能的過濾器即可容易達到零水平，實際的生產(chǎn)現(xiàn)場由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。　　

 在高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數(shù)值。同時，空氣的流向也必須要有控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內(nèi)，而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。 控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。 

無塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度，使用高性能的過濾器即可容易達到零水平，實際的生產(chǎn)現(xiàn)場由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。

4.潔要求　

（1）、清潔潔凈室內(nèi)的墻時應使用潔凈室無塵布；

（2）、用90％去離子水和10％的異丙醇配置清潔劑； 　

（3）、使用已獲批準的潔凈室專用去污劑； 　　

（4）、每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時清走。 　

（5）、每塊地板都要吸塵。每次交接班時，都應在地圖上標明工作完成情況，例如在哪結(jié)束從哪開始。

（6）、清潔潔凈室的地面應使用專用拖把。 　　

（7）、在潔凈室里吸塵應使用帶有高效過濾器的專用真空吸塵器。 　　

（8）、所有的門都需要檢查并擦干 　

（9）、吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。

（10）、架空地板下也要吸塵及擦拭。 　　

(11)、三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。 　

（12）、工作時一定要記住，永遠是由上往下擦，從離門最遠的地方向門的方向擦。

  無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room）、無塵室，是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。