隨著生活水平的提高，人們對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量要求也越來(lái)越嚴(yán)格。因此，凈化工程對(duì)車(chē)間設(shè)計(jì)的各個(gè)方面，也提高了要求，尤其是在濕度方面，更是要求嚴(yán)苛。行業(yè)人士可能都明白這個(gè)道理：高濕度實(shí)際上減小了無(wú)塵電子車(chē)間表面的靜電荷積累，這是大家想要的結(jié)果；較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。

因此，當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)百分之50時(shí)，靜電荷開(kāi)始迅速消散，但是當(dāng)相對(duì)濕度小于百分之30時(shí)，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長(zhǎng)一段時(shí)間。相對(duì)濕度在百分之35到百分之40之間可可謂是一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間、潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。

很多化學(xué)反應(yīng)的速度，包括腐蝕過(guò)程，將隨著相對(duì)濕度的增高而加快。所有暴露在凈化工程、潔凈室周?chē)諝庵械谋砻娑己芸斓乇桓采w上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些表面是由可以與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度可以使反應(yīng)加速。

值得慶幸的是，一些金屬，比如鋁，可以與水形成一層保護(hù)型的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反應(yīng)。但還有另一種情況是不具有保護(hù)能力的，例如氧化銅，在高濕度的環(huán)境中，銅制表面更容易受到腐蝕?？傊?，無(wú)塵電子車(chē)間濕度的控制主要在于其生產(chǎn)工藝的要求，所以廠家對(duì)無(wú)塵車(chē)間的濕度做出嚴(yán)格要求是很有必要的。

車(chē)間凈化工程主要就是將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)的溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，以確保產(chǎn)品可以在穩(wěn)定良好的環(huán)境下生產(chǎn)和制造。