電子制造業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)是一項(xiàng)綜合性技術(shù)。為了達(dá)到合理設(shè)計(jì)、降低產(chǎn)品不良率、提高生產(chǎn)效率,有必要充分了解電子制造潔凈車間的特點(diǎn)。
電子制造車間的清潔度要求很高。溫度、濕度、風(fēng)量、壓差、設(shè)備排氣按需控制。照明及潔凈室段風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范控制。另外,這種潔凈室對(duì)靜電有極高的要求。嚴(yán)格的。其中,對(duì)濕度的要求更高。在過于干燥的車間內(nèi)極易產(chǎn)生靜電,對(duì)CMOS集成電路造成損壞。一般來說,電子車間的溫度控制在22℃左右,相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)的溫濕度規(guī)定)。此時(shí),靜電能被有效地消除,使人感到舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路潔凈室和磁盤制造車間是電子制造業(yè)潔凈室的重要組成部分。由于電子產(chǎn)品在制造和生產(chǎn)過程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和質(zhì)量有著極其嚴(yán)格的要求,主要控制顆粒物,以浮塵為主要對(duì)象,對(duì)環(huán)境的溫度、濕度、新風(fēng)量、噪聲等也有嚴(yán)格的規(guī)定。
百級(jí)潔凈室所需換氣次數(shù):
100000級(jí)≥15次;
10000級(jí)≥20次;
1000≥30次;
100≥500次。
溫度要求:冬季>16℃;夏季<26℃;波動(dòng)±2℃。溫度45-65%;
壓差:主廠房至相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速:10100 0.3-0.5m/s;
GMP要求車間周圍的靜電濕度應(yīng)稍高些;車間內(nèi)的靜電濕度應(yīng)稍高些;
噪聲要求:噪聲≤65dB(A);
新風(fēng)量要求:新風(fēng)量為總送風(fēng)量的10%-30%;
照度要求:照度300LX。
百級(jí)無塵車間的凈化要求主要依靠凈化氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,逐步排放室內(nèi)污染物,達(dá)到清潔效果。房間內(nèi)的氣流是非平行流動(dòng),速度不均,混合有回流或渦流。不同級(jí)別的凈化車間主要通過單位時(shí)間風(fēng)量的差異來實(shí)現(xiàn)。